TSP钛升[Sheng]華泵和(He)NEG泵可以獨立使用或者與離子泵組合[He]獲得超高真[Zhen]空(Kong)真空/極高真空環境。與離子(Zi)泵組合[He]可以使系統在更短(Duan)的時間(Jian)内達到[Dao]超[Chao]高真空

性能(Neng)：

全系列無振動[Dong]、免維護的(De)钛離[Li]子泵、钛(Tai)升華泵 (TSP) 和非蒸發型吸氣劑(NEG) 泵，可在超(Chao)高真空中實現[Xian]出衆的極[Ji]限壓(Ya)力。

在超[Chao]高(Gao)真空下具有高抽速[Su]

無烴真空

長時[Shi]間運行

整體(Ti)解(Jie)決方[Fang]案

抽[Chou]速 0.2 - 1200 l/s

極限真空 < 1 x 10-11mbar