真[Zhen]空測量(Liang)的主力設備

工作[Zuo]範圍廣，在絕大多數環境下堅[Jian]固耐用，适用于粗真空到中等真空水平(Ping)

測量範圍為 10-2 至 10-9 mbar/torr

通常與皮拉尼真空[Kong]計配[Pei]合使用[Yong]，以(Yi)測量高真空泵系統

熱陰極真空計[Ji]與(Yu)冷陰極不(Bu)同[Tong]，它在傳感器中[Zhong]内置了一根熱[Re]絲來發射電子(Zi)。該技術能夠(Gou)測量中到到(Dao)超高真空 (10-12mbar/torr)

主要(Yao)類型(Xing)為 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和(He)提取型真空[Kong]計 (IE 514)

提取技術能夠精确測量 10-12 mbar/torr 的極高[Gao]真空(Kong)