真空系統其實[Shi]就是[Shi]真空機組的一[Yi]個類似的稱呼，真空[Kong]機組是由幾種真(Zhen)空[Kong]泵組合而成的(De)一套閉環真空[Kong]設備，它不見得(De)有一[Yi]些諸如散熱器，冷凝器等等設(She)備存[Cun]在。而(Er)一般能稱為(Wei)真(Zhen)空系統的肯定[Ding]是各種零部件齊(Qi)全[Quan]。真空應[Ying]用設備種類繁多(Duo)，但無論何種真(Zhen)空應[Ying]用設備都有[You]一套排除被抽容器内(Nei)氣體(Ti)的抽氣系統，以便(Bian)在真空容器(Qi)内獲[Huo]得所需要的真空條件。舉例來說：一個真(Zhen)空處理用的容器，用管道和閥(Fa)門将它與真空[Kong]泵連接起來，當[Dang]真空泵對容(Rong)器[Qi]進行抽空時，容(Rong)器上要有真空測量裝置，這就(Jiu)構(Gou)成了一個最(Zui)簡單(Dan)的真空抽氣系統。那麼真[Zhen]空系統(Tong)相比較(Jiao)于機組來說有[You]多少泵組成呢?這個是不(Bu)确(Que)定的，我們先來認(Ren)識一下可能存[Cun]在(Zai)的[De]泵的名詞解釋。

　　主泵(Beng)：在真[Zhen]空系統(Tong)中，用于[Yu]獲得所需要真空度來滿足[Zu]特定工藝要求的真空泵，如真空[Kong]鍍膜機中的油擴散泵就[Jiu]是主泵。

　　前級泵：用于維持某一[Yi]真空泵前級壓強低(Di)于其臨界前級(Ji)壓強的真空泵。如[Ru]羅茨泵前配置的(De)旋片泵或滑閥泵就是前級泵。

　　粗抽(Chou)泵：從大氣壓下[Xia]開始(Shi)抽氣，并将系統(Tong)壓力[Li]抽到另一真[Zhen]空泵開(Kai)始工作的真空泵。如(Ru)真空鍍膜(Mo)機中的滑(Hua)閥泵(Beng)，就是粗油泵。

　　維持[Chi]泵：在(Zai)真空系統中(Zhong)，氣量很小時，不(Bu)能有效地利用前級[Ji]泵。為此配置一種容量較小(Xiao)的輔助泵來(Lai)維持主泵工[Gong]作，此泵叫維(Wei)持泵(Beng)。如擴散(San)泵出口處[Chu]配一台小型旋片泵，就是維持泵。

　　事實上簡單的真空系統隻是能獲得[De]一個粗(Cu)真空，而想要獲得高真空[Kong]時，通常在真空[Kong]系統中串[Chuan]聯一個高真(Zhen)空泵，比如羅茨泵和螺杆[Gan]泵等都是(Shi)獲(Huo)得高真空的泵。當串(Chuan)聯一個高(Gao)真空泵之後，通(Tong)常要(Yao)在高真空(Kong)泵的入[Ru]口和出口分别加上閥(Fa)門，以便高[Gao]真空泵能單[Dan]獨保持真空。如果所串(Chuan)聯的高真空泵[Beng]是一(Yi)個油擴散泵，為了防止大量的油蒸(Zheng)氣返(Fan)流進[Jin]入被抽(Chou)容器(Qi)，通常在[Zai]油擴散泵的入口加一[Yi]個捕集器——水冷障闆。根據要求，還可以在管(Guan)路中加上除塵(Chen)器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真[Zhen]空泵入口放氣閥，散(San)熱器等等，這樣(Yang)就構成[Cheng]了一個較完善的[De]高真空系統。