TSP钛升[Sheng]華泵和NEG泵可以獨立(Li)使用或者與離[Li]子泵[Beng]組合獲得超(Chao)高真[Zhen]空[Kong]真空/極高真空環境。與離子泵組合可以(Yi)使系[Xi]統在更短的時[Shi]間内達到超[Chao]高真空[Kong]

性能[Neng]：

全系列無振[Zhen]動[Dong]、免維護的钛離[Li]子泵[Beng]、钛升華泵 (TSP) 和(He)非蒸發型吸氣劑(NEG) 泵，可在超[Chao]高真空[Kong]中實[Shi]現出衆[Zhong]的極限壓力。

在超(Chao)高真[Zhen]空(Kong)下具有高抽速

無烴真空

長時間運行

整體解決方案

抽[Chou]速 0.2 - 1200 l/s

極限真空 < 1 x 10-11mbar