性能：

集成分子泵(分子泵，變頻器和(He)電源一體)，易于與系統(Tong)集成，操作簡單，占用空間小

對氣體[Ti]有(You)高抽速和高壓縮比(Bi)

複(Fu)合型分子(Zi)泵

耐粉塵，耐沖擊，自動監測和自我保護，免維護(Hu)

行業(Ye)應用：

科研/分析儀器、工業及鍍膜應[Ying]用、生命科學、太陽能工業、顯示行業