真空系統[Tong]其實[Shi]就是真空機組的一[Yi]個類似的稱[Cheng]呼，真空機組是由幾種真空[Kong]泵組合而[Er]成的(De)一套閉[Bi]環真空(Kong)設(She)備，它不(Bu)見得有一些諸如散[San]熱器，冷凝器(Qi)等等設備存[Cun]在。而(Er)一般能[Neng]稱[Cheng]為真[Zhen]空系統的肯定是各種零部件[Jian]齊全。真空應用[Yong]設備種類(Lei)繁多，但無論(Lun)何種真(Zhen)空應用設備都有一套排除(Chu)被抽容器内氣(Qi)體的抽氣系統，以(Yi)便[Bian]在真空容器内獲[Huo]得所需要的真空條件。舉[Ju]例來說：一(Yi)個真[Zhen]空處理用的容器，用(Yong)管道和閥(Fa)門将它與真空(Kong)泵[Beng]連接起來，當(Dang)真空泵對容器進行抽空[Kong]時，容(Rong)器上要有真空測量裝置，這就[Jiu]構成了一個最(Zui)簡單的真空抽氣[Qi]系統。那[Na]麼真空系統[Tong]相比較于機(Ji)組來說有多少泵組成呢?這個是不[Bu]确(Que)定的，我們先來認(Ren)識一下可能存在的泵的名詞解釋。

　　主泵：在真空系統中，用于[Yu]獲得所需(Xu)要真空度來[Lai]滿足特定工藝要求的[De]真空泵，如真空[Kong]鍍膜機中的油擴散泵就是主(Zhu)泵。

　　前級泵：用于維持[Chi]某一真空泵前級壓強低[Di]于其臨界前[Qian]級(Ji)壓強的真空泵[Beng]。如羅茨(Ci)泵前配(Pei)置的[De]旋片泵或滑閥泵[Beng]就是前級泵。

　　粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并将系統[Tong]壓力(Li)抽到另一真[Zhen]空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜(Mo)機中[Zhong]的滑(Hua)閥泵，就是粗油泵。

　　維持泵：在真空系統中(Zhong)，氣量很小時，不能有效地利用(Yong)前級泵。為此配置一種(Zhong)容量較小[Xiao]的輔助泵來維持主泵工[Gong]作，此泵叫維[Wei]持泵。如擴散[San]泵出口[Kou]處(Chu)配[Pei]一台小型旋片泵，就是維[Wei]持泵。

　　事(Shi)實上簡單的真空系統[Tong]隻是能獲得一個粗真空，而想(Xiang)要(Yao)獲得高真空(Kong)時，通常在真(Zhen)空[Kong]系統[Tong]中串聯一個高[Gao]真空泵，比(Bi)如羅茨泵(Beng)和螺(Luo)杆泵等都是[Shi]獲[Huo]得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之後，通常要在高真空泵的入口和出[Chu]口分别加上閥[Fa]門，以便高(Gao)真(Zhen)空泵能單獨保持[Chi]真空。如果所串聯[Lian]的高真空泵(Beng)是一個油[You]擴散[San]泵，為了防(Fang)止大[Da]量的油蒸(Zheng)氣返流進入被抽[Chou]容器，通常在油擴[Kuo]散泵的入口加[Jia]一個捕集器——水冷障(Zhang)闆。根據要求，還[Hai]可以(Yi)在管[Guan]路[Lu]中加上[Shang]除塵器、真空繼電器(Qi)規頭、真空軟連(Lian)接管道[Dao]、真空泵入[Ru]口放氣閥，散[San]熱(Re)器等等，這樣就構(Gou)成(Cheng)了一(Yi)個[Ge]較完善的高真(Zhen)空系統。