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一個完整的真空系(Xi)統的(De)組成

作者[Zhe]:admin 發布時間:2023-04-02 23:35:30點擊[Ji]:91

  一、簡單得說(Shuo),這三個概念分别對應氣體的真空應用設備種類繁多,但[Dan]無論(Lun)何種真空應用[Yong]設備都有一套排除(Chu)被抽容器内氣體的抽氣系統[Tong],以便在真[Zhen]空容器内獲[Huo]得所需要的真空[Kong]條件。舉[Ju]例(Li)來說:一個真空處理(Li)用的容器,用管(Guan)道和閥門将它與真空泵[Beng]連接起來,當真空泵[Beng]對容器進行抽空時,容器上[Shang]要有真空測量(Liang)裝[Zhuang]置,這就構(Gou)成了[Le]一個最[Zui]簡單的真空[Kong]抽氣系統(如圖1)。

  

圖片2.png


  圖1:最[Zui]簡單的真空系統圖

  圖1所示[Shi]的最簡[Jian]單的真空系統[Tong]隻能(Neng)在被抽容器内獲得(De)低真空範圍内的真空度,當需要獲得高[Gao]真空範圍内的真空度時,通常在圖1所示的真空系統(Tong)中串聯[Lian]一個高真空泵。當串聯一(Yi)個高真空(Kong)泵之後,通常要在高真空(Kong)泵[Beng]的(De)入口和出口分别加上閥門,以便高[Gao]真空泵能單(Dan)獨保持(Chi)真空[Kong]。如果所[Suo]串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大[Da]量的油蒸氣返流進(Jin)入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水(Shui)冷障闆(如圖2所示)。根[Gen]據要求,還可以在管路中(Zhong)加上除塵器、真空繼(Ji)電器規頭、真空軟連[Lian]接(Jie)管道、真[Zhen]空泵入口放[Fang]氣閥等等,這樣就[Jiu]構成了(Le)一個較完善[Shan]的高真空[Kong]系統。

  

圖片3.png


  圖2:高[Gao]真空系統簡圖(Tu)

  凡是由兩個以(Yi)上真空(Kong)泵串聯組成的真空系統,通常都把抽(Chou)低真空的泵(Beng)叫(Jiao)做(Zuo)它上一級高真空泵的前級泵(或(Huo)稱前置泵),而[Er]最高一級的(De)真空泵叫做(Zuo)該真空系統(Tong)的主(Zhu)泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的極限真空度和工(Gong)作真空度就由主泵(Beng)确定。被抽容器[Qi]出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路,主泵入口處的閥門[Men]稱為主閥。

  通[Tong]常前[Qian]級泵又兼作予真空(Kong)抽氣泵。被抽容器到予抽泵之(Zhi)間的管路稱為予真[Zhen]空管路,該(Gai)管(Guan)路上的閥門稱為予真[Zhen]空管道閥。主泵出口到前級[Ji]泵入口[Kou]之間[Jian]的管路稱[Cheng]為[Wei]前[Qian]級管道,該[Gai]管路上的閥門稱為前級[Ji]管道(Dao)閥,而軟連接管道是為了隔[Ge]離前級泵的(De)振動(Dong)而設置的。

  總[Zong]起[Qi]來說,一個較完善的[De]真[Zhen]空系統由下列元(Yuan)件組成:

  1、抽氣設備:例(Li)如各種真空泵(Beng)

  2、真空閥門(Men)

  3、連接[Jie]管道

  4、真(Zhen)空(Kong)測量裝置:例如真空[Kong]壓(Ya)力表、各種規管

  5、其(Qi)它元件:例[Li]如捕集器[Qi]、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

  那麼[Me],究竟什麼是真空系統(Tong)?用一句(Ju)話來概括,就是:用來獲得有特[Te]定要求的真空度的抽氣[Qi]系統。

  真空系統(Tong)設計的基本内容:是(Shi)根據被抽容器對真(Zhen)空度的(De)要求(Qiu),選擇适(Shi)當的真空(Kong)系統設計[Ji]方案,進(Jin)行選、配泵[Beng]計算;确定導管、閥門、捕[Bu]集(Ji)器、真空測量[Liang]元件等,進行(Hang)合理配置,最[Zui]後劃[Hua]出真空[Kong]系(Xi)統裝配圖和零部件圖(Tu)。