TSP钛升(shēng)華泵和NEG泵(bèng)可以獨(dú)立(lì)使用或者與離子泵組合(hé)獲得超高真空真空/極高(gāo)真空環境(jìng)。與離子泵組合(hé)可以使系統在更短的時間(jiān)内達到超高真空

性能：

全(quán)系列無振動、免維護(hù)的(de)钛離(lí)子泵、钛升華泵(bèng) (TSP) 和非蒸發型吸氣劑(jì)(NEG) 泵，可在超高(gāo)真空中實現出衆的極限壓力。

在超高真空下具有高抽速

無烴真(zhēn)空

長時間運行

整體解決方案

抽(chōu)速 0.2 - 1200 l/s

極限真空 < 1 x 10-11mbar