選用真空泵時，需要注意下列事項(xiàng)：

　　1、真空泵的工作壓強應該滿足(zú)真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真(zhēn)空度至少要(yào)5×10-6mmHg。通常(cháng)選擇泵的真空度要高于(yú)真空設備真空度半個到一個(gè)數量級。

　　2、正确地選擇(zé)真空泵的工作點。每(měi)種泵都有(yǒu)一定(dìng)的(de)工作壓強範圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍内，泵(bèng)的抽速随壓強而變化，其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個(gè)範圍之内，而不能(néng)讓它(tā)在10-8mmHg下長期(qī)工作。又如钛升華泵可以(yǐ)在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

　　3、真(zhēn)空泵(bèng)在其工(gōng)作壓強下，應能(néng)排走真空設(shè)備工藝過程(chéng)中産生(shēng)的全部氣體量。

　　4、正确地組合真空(kōng)泵。由于真空泵有選擇性抽(chōu)氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽(chōu)氣要求，需要幾種(zhǒng)泵組(zǔ)合起來，互相補充才能滿(mǎn)足抽(chōu)氣要求。如钛升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離(lí)子泵，(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對氩有一定的抽速，兩者組合起(qǐ)來，便會使真空裝置得到較好的(de)真空度。另外(wài)，有(yǒu)的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的(de)真(zhēn)空泵出(chū)口壓強低于大氣壓(yā)，需要前級泵，故都需(xū)要把泵組合起來使用。

　　5、真空設備對油污(wū)染的要(yào)求。若設備嚴(yán)格要求無油時，應該選各種無(wú)油泵，如：水(shuǐ)環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格(gé)，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如(rú)加冷阱、障闆、擋油阱等(děng)，也能達到清(qīng)潔真空要求。

　　6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需(xū)要知道氣體成分，針(zhēn)對被抽氣體選(xuǎn)擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣(qì)體，應該考慮在泵的進氣口(kǒu)管路上安裝輔(fǔ)助設備，如冷凝器、除塵器等。

　　7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

　　8、真空泵工作時産生的(de)振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

　　9、真空泵的價格、運轉及維修費用。