真空系統其實(shí)就是真空機組的一(yī)個類似的稱呼，真空(kōng)機組是由幾種真空泵組合而成的(de)一套閉環真空(kōng)設(shè)備，它不見得有一(yī)些諸如散(sàn)熱(rè)器，冷凝器等等設(shè)備存(cún)在。而(ér)一般能稱為真空系(xì)統的肯定(dìng)是各種零部件齊全。真空應用設(shè)備種類(lèi)繁多(duō)，但無論何種真空應用設備(bèi)都有一套排除被抽容器内氣體的抽氣(qì)系統，以(yǐ)便在真空容器内獲(huò)得所需要的真空條件。舉例來(lái)說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門将它與真空(kōng)泵(bèng)連接起(qǐ)來，當真空泵對容器進行(háng)抽空時(shí)，容(róng)器上要有真空測量裝置，這就(jiù)構成了一個最簡單的真空抽氣系統。那麼真空系統相比較于機組來說有多少泵組成呢?這個是不确定的，我們先(xiān)來(lái)認(rèn)識一下可能存在(zài)的泵的名詞解釋。

　　主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要(yào)求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散(sàn)泵就是主泵。

　　前級(jí)泵：用于維持某一真空(kōng)泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的(de)旋片泵或滑閥泵就是前級泵。

　　粗抽(chōu)泵：從大氣壓下開始抽氣，并将系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是(shì)粗油泵。

　　維(wéi)持泵：在真空(kōng)系統中(zhōng)，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配(pèi)置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維(wéi)持泵。如擴散泵出口處配一台小型旋片泵，就是維(wéi)持泵。

　　事(shì)實上簡單的真空系統(tǒng)隻(zhī)是能獲得一個粗(cū)真空，而想要獲得高真空時，通常在真空(kōng)系統中串聯一個高真空泵，比如羅茨泵和螺杆泵等都是獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之後，通常(cháng)要在(zài)高真空泵的入口(kǒu)和出(chū)口分别加上閥門，以便高(gāo)真空泵能單獨保持(chí)真空。如果所串聯的高真空泵(bèng)是一(yī)個油擴散泵，為了防(fáng)止大量的油(yóu)蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，通常在油擴(kuò)散泵的入口加(jiā)一個捕集器——水冷障闆。根據要求，還可以在管路中加上除塵(chén)器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥，散熱器等等，這樣就構成(chéng)了一個較完善的(de)高真空系統。