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一、簡單得說,這三個概(gài)念分别(bié)對應(yīng)氣體的真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應(yīng)用設備都有(yǒu)一套排除被抽容器内氣(qì)體的抽氣系統,以便在真空容器内獲得所需要的真空(kōng)條件。舉例來說:一個真空處理(lǐ)用的容器,用管道和(hé)閥門将它與真空泵(bèng)連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上(shàng)要(yào)有真空測量裝置,這就構成了一個最簡單的真空(kōng)抽氣系統(如圖1)。
圖1:最簡單的真空系(xì)統圖
圖1所(suǒ)示(shì)的最(zuì)簡單(dān)的真空系統(tǒng)隻能在被(bèi)抽容器内獲得(dé)低真空範圍内的真空度,當需(xū)要獲得高(gāo)真空範圍内的真空度時,通常在圖(tú)1所示的真空系統中串(chuàn)聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之後,通常要在高真(zhēn)空泵的入口和出口(kǒu)分(fèn)别加上閥門,以便高真空泵能(néng)單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一(yī)個油擴散泵,為(wéi)了防止大量的油(yóu)蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障闆(如圖2所示)。根據要(yào)求,還可以(yǐ)在管路中(zhōng)加上除塵器、真空繼(jì)電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這(zhè)樣就(jiù)構成了一個較完善的(de)高真空系統。
圖2:高真空系統簡圖
凡是由(yóu)兩(liǎng)個以上真空泵串聯(lián)組成的真(zhēn)空系統,通(tōng)常(cháng)都把抽(chōu)低真空的泵(bèng)叫做(zuò)它(tā)上一級高真空(kōng)泵(bèng)的前級泵(或稱前置泵),而最高一級的真空泵叫做該真空系統的主泵,即它是最主要的泵(bèng),被抽容器中的極限真(zhēn)空度和工(gōng)作真空度就由(yóu)主泵确(què)定。被抽容(róng)器出口到主泵入口之間的(de)管路(lù)稱為高真空管(guǎn)路,主泵入(rù)口處的閥門(mén)稱為主閥。
通常前(qián)級泵(bèng)又兼作予真(zhēn)空抽氣(qì)泵。被抽容(róng)器到予抽泵之(zhī)間的管路稱為予真(zhēn)空管路,該管路上的閥門稱為予真(zhēn)空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱(chēng)為前級管道,該管路上的閥門稱為前級管道閥,而軟(ruǎn)連接管道是(shì)為了隔離前級泵的振動而設置的。
總起(qǐ)來說,一個較完善的(de)真空系統由下列(liè)元件組成:
1、抽氣設備:例如各種真空泵
2、真空閥門
3、連接(jiē)管道
4、真空測量裝(zhuāng)置:例如真空壓力表、各種規管
5、其它元件:例如捕集器(qì)、除塵器、真空繼電器(qì)規頭、儲氣罐等(děng)。
那麼,究竟什麼是真空系(xì)統?用一句話來概括,就是:用(yòng)來獲得有特定(dìng)要求的真空(kōng)度的抽氣系統。
真空系統(tǒng)設計的基本内容:是根據被抽容器(qì)對真空度的要求,選擇适當的真空系統設計方案,進行選、配泵(bèng)計算;确定導管、閥(fá)門、捕集器、真空測量元件(jiàn)等,進行合理配置,最後劃出真空系統裝配圖和零部件圖。