性能(néng)：

集成分子泵(分子泵，變頻器和(hé)電源(yuán)一體)，易于與系(xì)統集成，操作簡單，占用空間小

對氣體有高抽速和(hé)高壓縮比(bǐ)

複合型分(fèn)子泵

耐粉塵，耐沖擊，自動監測和自我保護，免維護

行業應用(yòng)：

科研/分析儀器、工業及鍍膜應用、生命科學、太陽能工(gōng)業、顯示行業(yè)