真空測量的(de)主力設備

工作(zuò)範圍廣，在絕大多數(shù)環境下堅固耐用，适用于粗真空到中等真空水平(píng)

測量範圍(wéi)為 10-2 至 10-9 mbar/torr

通(tōng)常(cháng)與皮拉尼真空(kōng)計配合使(shǐ)用，以測量高真空泵系統(tǒng)

熱陰極(jí)真空計與冷陰極不同，它在傳感(gǎn)器中内置了一根熱(rè)絲來發射電子。該技(jì)術能夠(gòu)測量中到到超高真空 (10-12mbar/torr)

主要類型(xíng)為 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真(zhēn)空計 (IE 514)

提取技術能夠精确測(cè)量 10-12 mbar/torr 的極高(gāo)真空