真空測(cè)量的主力設備

工作範圍(wéi)廣，在絕大多(duō)數環境下堅固耐用，适用于粗真空到(dào)中等真空水平(píng)

測量範圍為 10-2 至 10-9 mbar/torr

通(tōng)常與皮拉尼真空計配合使用，以測量高真空泵系統

熱陰極真空計與冷(lěng)陰極不同，它在傳感器中内置了一根熱絲來發射電子。該技術能夠(gòu)測量中到到超高真空 (10-12mbar/torr)

主要類型為 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真空(kōng)計 (IE 514)

提取技術能夠精确測量 10-12 mbar/torr 的極高真空