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氣體截捕集泵
COOLVAC 真(zhēn)空泵是冷(lěng)凍機低溫泵,當氣态物質通過(guò)低溫冷凝與泵内的冷表面結(jié)合時,會産生真空。它們用(yòng)于生成超(chāo)高真空。
由于抽吸(xī)原理,COOLVAC 低溫泵對大部分氣(qì)體都具有高效的抽吸(xī)速度。COOLVAC 真空泵可在 10-3 mbar 至 10-11 mbar 的壓力範圍内産生高真空。
COOLVAC 系列的所有低溫泵均配備安全相關(guān)組件,特别是配備安全閥,安全閥配有DN 40 KF 法(fǎ)蘭,用于(yú)連接排氣管路。
泵(bèng)體由不鏽鋼制成。COOLPAK i 系(xì)列的氦氣壓(yā)縮機是操作 COOLPOWER i 冷頭(tóu)的必要設備,冷頭集成在 COOLVAC i 系列(liè)低(dī)溫泵内部。
iSmartLine (iSL)
iSmartLine (iSL) 系列低(dī)溫泵通過兩級冷頭的電加熱器逐漸加(jiā)熱至室溫。壓力、溫度和加熱功(gōng)率由 COOL.DRIVE I 控制器監控。
在該流程中,按以下順序依次釋放抽出的氣體:
低溫面闆中吸附的氣體(例如氫氣、氦氣、氖氣),
低溫面闆中冷凝的氣體(例如氮氣、氧氣、氩氣(qì)),
冷凝到隔闆和熱輻(fú)射屏(píng)蔽層上的氣體和蒸氣(例如水蒸氣)。
上述 Leybold 再生流程的好處是,在惰性、無反應氣體的再生過(guò)程中不需要額(é)外的淨化氣體(tǐ)。
獲益:
提供 3 種運行(háng)模式以提高(gāo)冷卻性能、節能(néng)和定制化運行
不含烴的無油高真空
氩氣和氫氣處理能力高
通過集成的(de) COOL.DRIVE i 控制器 1) 實現全自動再生
無需(xū)拆卸泵和重新調節真空系統(tǒng)即可輕松進行現場維修
快速(sù)抽吸水和氮氣
利用電動再生系統實現快速(sù)、安全和高效的(de)再生
iBasicLine (iBL)
如果是 iBasicLine (iBL) 系列的低溫(wēn)泵,則(zé)可通過兩個步驟手動進行再(zài)生:
關閉冷凍機系統并等待達到室溫
在低溫泵中達(dá)到足夠(gòu)低的壓力(lì)後重新冷卻
iBasicLine 版本的(de) COOLVAC 低溫泵與 iSL 版本(běn)的 COOLVAC 低溫泵在抽(chōu)吸(xī)速度、容量、冷卻時間、内置冷(lěng)頭、處理能力上限、第二級(jí)(矽二(èr)極管)和相應電流饋通裝置的内置溫(wēn)度傳感器方面具有相同的技術數據。
iBasicLine 型号(hào)不包括 COOL.DRIVE I 控(kòng)制器以及加熱器、真空計和前(qián)級真空閥。